专业产品介绍

产品型号： ZDZKN13-18-1000 科研级高真空烧结炉

核心定位：
一款面向 半导体前沿研发与高端精密制造 的顶级科研装备。以 6×10⁻⁴Pa 极高真空、±3℃精密温场及全合金洁净环境 为核心，专为芯片材料、量子器件、超导薄膜等对工艺环境有极端要求的领域而设计。

核心优势：

1. 尖端真空环境，守护材料本征特性

   • 极高真空度：空载极限真空达 6×10⁻⁴Pa，创造超高洁净的无氧、无污染环境，彻底杜绝材料氧化与杂质吸附，满足半导体级工艺标准。

   • 全合金洁净炉胆：采用特殊高温合金内胆，出气率极低，确保炉内环境始终满足高纯材料处理要求。

2. 科研级精密温场，数据可重复性强

   • 卓越均匀性：空载状态下，炉内温度均匀度严格控制在 ±3℃，为纳米级薄膜烧结、器件封装等工艺提供无可匹敌的热场一致性，确保实验数据的极高重复性与可靠性。

   • 精准控温：最高工作温度1000℃，精准覆盖从先进封装到新材料合成的关键温区。

3. 智能数字化研发管理

   • 15寸大屏智能控制，集成无纸记录系统，自动记录并存储完整的温度、真空度曲线与工艺参数。

   • 科研数据无忧：一键导出实验报表，轻松用于论文附图与项目报告，全面支撑知识产权申请与高水平研究成果产出。

4. 紧凑型精密腔体，专为珍贵样品设计

   • 400×150×150mm（深×宽×高） 的专用科研炉膛，最大限度减少空间占用，同时确保珍贵样品在最优环境下处理，兼顾研发效率与成本。

典型应用：

• 前沿科技：半导体芯片封装与互连、量子材料合成、超导薄膜制备。

• 精密制造：5G/6G射频器件、MEMS（微机电系统）、高端传感器芯片的烧结与退火。

• 科研探索：超净、超高真空环境下的新材料开发与基础科学研究。

我们的承诺：
中达电炉 —— 20年尖端技术沉淀。我们致力于为顶尖科研机构与高科技企业提供性能卓越、稳定可靠的高真空热处理解决方案。

“ZDZKN13高真空烧结炉：以6×10⁻⁴Pa极致真空与±3℃精控温场，成为半导体与量子科技前沿研究的基石。”

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