ZDZK4A-24-700 智能高真空热处理炉
—— 6×10⁻³Pa超高真空·双区控温·精密工艺 ——
专为半导体及精密合金处理打造的超高真空热处理平台

核心优势

1. 半导体级真空环境

   • 极限真空度 6×10⁻³Pa，创造无氧无污染的纯净处理环境

   • 800×250×250mm 专用炉膛，适配精密元件与小型零件处理需求

2. 双区精密温度控制

   • 2区独立智能控温，实现炉内温度均匀性±5℃

   • 700℃精准温区，完美匹配铍铜、无氧铜等材料的退火时效工艺

3. 智能工艺管理系统

   • 9寸大屏智能控制，实时监控温度、真空度等关键参数

   • 无纸记录系统，完整保存工艺曲线，自动生成质量追溯报表

4. 专业合金炉胆设计

   • 特种合金炉胆，洁净度高，耐腐蚀，确保处理环境纯净

   • 24KW优化功率，升温快速均匀，能耗更低

技术参数

专业应用领域

半导体制造

• 芯片封装元件真空退火

• 键合丝材热处理

• 半导体器件除气处理

精密合金处理

• 铍铜、无氧铜真空时效

• 航空插头、连接器钎焊

• 双金属材料复合处理

工艺能力

• 真空退火：消除材料应力，改善导电性能

• 真空时效：析出强化，提升材料力学性能

• 真空钎焊：实现精密元件的无氧化连接

• 除气处理：去除材料内部吸附气体

质量保障

• 表面零缺陷：超高真空环境确保材料无氧化

• 工艺一致性：双区控温保证温度场均匀稳定

• 数据可追溯：完整记录真空度、温度曲线

• 设备可靠性：关键部件强化设计，使用寿命超长

设备特点

• 操作智能化：一键启动，工艺参数自动执行

• 维护便捷化：模块化设计，故障诊断智能化

• 能耗最优化：真空隔热设计，热效率提升40%

• 安全多重化：超温、超压、断水等多重保护

品牌承诺

中达电炉 —— 20年真空热处理技术深耕
提供 设备+工艺+服务 全流程解决方案

宣传语

"超高真空·精密智控——ZDZK4A-24-700以卓越性能守护每一件精密器件的完美品质！"

关键词

高真空热处理炉 6×10⁻³Pa真空度F真空炉 双区精密控温真空炉 半导体器件处理炉
精密合金热处理炉 真空炉 智能真空炉设备

---本设备专为半导体器件与精密合金的热处理需求设计，通过超高真空环境与智能温控技术，为客户提供洁净、精准、可靠的热处理解决方案。