ZDZKN9-60-800 高端精密真空退火炉
产品概述
ZDZKN9-60-800 是一款专为半导体芯片银线、铜合金精密部件设计的高端真空退火设备。设备采用Φ550×700mm圆柱形工作室，配备双区独立控温系统，在800℃高温下实现±5℃的温度均匀性，结合6×10⁻²Pa高真空环境和智能化控制系统，确保贵金属材料实现无氧化光亮处理，广泛应用于高端电子制造领域。
核心技术参数表
核心应用领域
半导体与微电子行业
芯片封装银线：金线、银线、铜线的退火处理
引线框架：铜合金、铁镍合金框架的真空退火
焊料与焊膏：无铅焊料、高铅焊料的真空处理
精密连接器行业
高可靠连接器：航空插头、军用连接器热处理
5G通信器件：射频连接器、基站接插件
新能源汽车：高压连接器、充电接口部件
特殊材料处理
铍铜合金：铍铜弹簧、接触件的真空时效
无氧铜部件：波导腔体、真空腔室部件
贵金属触点：银触点、金银合金件的热处理
设备设计特点
1. 优化热场设计
圆柱形工作室：避免死角，热场分布更均匀
双区独立控温：精确控制轴向温度梯度
多层隔热设计：高效保温，节能降耗
2. 先进真空系统
三级真空机组：快速达到工作真空度
真空测量系统：皮拉尼计+电离计组合
自动真空控制：一键式真空操作流程
3. 智能化控制系统
9寸彩色触摸屏：实时显示工艺参数
30段程序控制：可存储多种工艺配方
远程监控接口：支持网络远程访问
4. 安全保护系统
多重真空保护：防止误操作损坏设备
超温超压保护：独立安全控制系统
水电气监控：实时监控辅助系统状态
工艺性能优势
银线退火工艺
光亮处理：真空环境下无氧化变色
性能提升：提高银线导电性和延展性
批量处理：单炉可处理大批量银线
铜合金处理优势
无氢脆风险：真空环境避免氢原子渗透
表面洁净：处理后可直接电镀或焊接
性能稳定：每批次产品质量高度一致
质量保证体系
工艺控制精度
温度控制精度：±1℃
真空度控制：自动保压与补抽
工艺重复性：配方化管理确保一致性
数据追溯能力
完整数据记录：温度、真空度、时间全记录
报表自动生成：支持定制化报表格式
批次追溯管理：每批产品可追溯完整工艺
设备配置清单
真空炉主机（含合金炉胆）
三级高真空系统
双区独立加热系统
水冷系统（含冷却塔）
9寸智能控制系统
无纸记录仪
真空测量系统
安全保护系统
专用工件料架
操作维护工具包
技术服务体系
20年专业保障
中达电炉拥有20年真空热处理设备制造经验，为客户提供全方位技术支持。
服务承诺
专业技术支持：工程师团队提供工艺咨询
快速响应服务：24小时技术热线支持
备件供应保障：常用备件库存充足
定期维护服务：提供年度保养计划
应用行业扩展
半导体封装测试
高端电子制造
航空航天器件
医疗电子设备
科研机构实验室
军工产品制造
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